点击图片查看原图COMET射频发生器citoPlus 136-ACNA-N25A-FP
专为在动态负载下实现最高稳定性而设计。
cito Plus 提供脉冲质量、稳定性和功率测量精度，使其成为等离子体沉积和蚀刻应用以及非半导体应用的选择。
正常运行时间长 - 专注于吞吐量和降低运营成本
精度、可重复性和稳定性的价值 - 满足您的工艺要求
更高的电源效率 - 更好的经济性和环保型
cito Plus系列特征
对称开环响应
高精度功率控制
脉冲高达 100 kHz
具有可变相位延迟的 CEX
CEX 输出分频器
符合 SEMI 标准
cito Plus系列好处
可预测的等离子体行为
轻松的系统集成
可重复的晶圆结果
在任何电缆长度下都能保持稳定
在任何负载下均具有出色的脉冲形状
与大多数生产设备兼容
citoPlus 136-ACNA-N25A-FP 技术参数
订货号 64001035
系列 cito Plus
频率 13.56 MHz
射频功率 600 瓦
脉冲 是的
前面板 积极
现场总线 没有
模拟接口 25 针
匹配网络接口 AGS 系列
交流输入 187 至 265 VAC
冷却 空气
射频输出连接器 N 型
COMET射频发生器citoPlus 136-ACNA-N25A-FP
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