点击图片查看原图波长（nm）248
最大重复频率（Hz）1000
稳定脉冲能量（mJ）10
稳定脉冲功率（W）10.0
能量稳定性（西格玛，%）2
光束尺寸（FWHM，V x H mm）6x3
光束发散度（FWHM，V x H mrad）2x1
脉冲持续时间（FWHM）（ns）5-15
重量kg 75
冷却 空气
电源 230V, 50/60Hz, 2000W 最大
尺寸 (L x W x H) mm 560 x 315 x 445
Mlase MLI-1000KrF准分子激光主要功能
刚性设计
电晕预电离
固态电路
卡套管技术
能量监测器
紧凑型准分子激光，单相
Mlase MLI-1000KrF准分子激光优势
高可靠性
均匀梁剖面
即时可用，无老化
全金属密封管
数十亿脉冲的延长寿命
能量稳定
易于操作，易于集成
Mlase 准分子激光型号
Mlase MLI-200 Arf
Mlase MLI-500 Arf
Mlase MLI-1000 Arf
Mlase MLI-200 KrF
Mlase MLI-500 KrF
Mlase MLI-1000 KrF
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